業(yè)務(wù)領(lǐng)域
聚焦于高純氣體,穩(wěn)定同位素,金屬化合物和高純化學(xué)品等化工新材料的供應(yīng)和銷售
Disilane - 乙硅烷 - ( Si2H6 )
乙硅烷是無腐蝕性,無色,氣體,在空氣中自燃。在室溫下,緩慢分解為甲硅烷和氫氣。它與氫氣,氬氣,氦氣和氮氣兼容,并且常常和這些氣體配成混合氣,或者純氣也可運輸。
規(guī)格 | |
純度,% | 99.998 |
氧氣+ 氬氣 | ≤1 ppmv |
氮氣 | ≤1 ppmv |
一氧化二碳 | ≤1 ppmv |
二氧化碳 | ≤1 ppmv |
總碳氫(甲烷) | ≤1 ppmv |
TCS ( 總氯硅烷 ) | ≤ 0.2 ppmv |
Higher silane? | ≤ 50 ppmv |
硅烷 | ≤ 200 ppmv |
水分 | ≤ 1 ppmv |
運輸 | |
DOT 運輸名稱 | 可燃性壓縮氣體 |
DOT 分類 | 2.1 |
DOT 標(biāo)簽 | 可燃氣體 |
UN NO. | UN 3161 |
CAS No. | 1590-87-0 |
CGA/DISS/JIS | 350/632/W22-14L |
運輸狀態(tài) | 液化性氣體 |
技術(shù)信息 | |
鋼瓶狀況 @ 21.1°C? | 液體 |
在空氣中的燃燒極限 | 2-98% |
自然溫度 (°C ) | -100 |
分子量 (g/mol) | 62.22 |
比重 ( 空氣 =1) | 2.1 |
臨界溫度 ( °C ) | 150.85 |
臨界溫度 ( psig ) | 747 |
應(yīng)用 | |
主要用于微機化半導(dǎo)體制程中之快速且低溫沉積均勻薄膜,例如20納米以下的 IC 半導(dǎo)體,先進隨機存取記憶體及快閃記憶體 ( DRAM/NAND Flash ), 另外也以配氣方式應(yīng)用于 HIT 薄膜太陽能電池, TFT-LCD 面板及LED 等方面的應(yīng)用上。 | |