業(yè)務領域
聚焦于高純氣體,穩(wěn)定同位素,金屬化合物和高純化學品等化工新材料的供應和銷售
Arsine - 砷烷 - ( AsH3 )
砷化氫是一種劇毒,易燃,無色,有類似大蒜氣味的氣體。氣味是主觀的,因此不可靠的,而不應被用于檢測氣體的存在。在其蒸汽壓力下作為液化性氣體運輸。
規(guī)格 | ||
純度,% | 99.999 | 99.9999 |
氧氣 | ≤1.0 ppmv | ≤ 40 ppbv |
氮氣 | ≤2.0 ppmv | ≤ 250 ppbv |
二氧化碳 | ≤ 0.5ppmv | ≤ 40 ppbv |
一氧化碳 | ≤ 0.1ppmv | ≤ 10ppbv |
水分 | ≤ 0.5 ppmv | ≤ 350 ppbv |
C1-C2 | ≤ 2.0 ppmv | ≤ 500 ppbv |
鍺烷 | ≤ 50 ppbv | |
硫化氫 | ≤ 50 ppbv | |
運輸 | ||
DOT 運輸名稱 | 砷烷? | |
DOT 分類 | 2.3 (2.1) 毒氣 | |
DOT 標簽 | 毒氣/呼吸危害, 可燃氣體 | |
UN NO. | UN 2188 | |
CAS No. | 7784-42-1 | |
CGA/DISS/JIS | 350/632/W22-14L | |
運輸狀態(tài) | 液化氣體 | |
技術信息 | ||
鋼瓶狀況 @ 21.1°C? | 液體 | |
在空氣中的燃燒極限 | 5.1-78% | |
自然溫度 (°C ) | - | |
分子量 (g/mol) | 77.95 | |
比重 ( 空氣 =1) | 2.695 | |
臨界溫度 ( °C ) | 99.85 | |
臨界溫度 ( psig ) | 985.3 | |
應用 | ||
1. 在半導體制造中,胂是外延硅的一種n型摻雜劑(通常與氫混合)。 2. 對于硅片的摻雜選定區(qū)域,通過沉積/擴散技術,形成淺結(jié)構(gòu),例如發(fā)射器或源漏接觸 (通常是ppm 級到百分比級,氮氣是平衡氣 )。 3. 采用離子注入,在選定區(qū)域摻雜 (通常與氫混合)。 4. 參與許多化學反應。 | ||